视频:分子泵DVM系列及隔膜真空泵DVC278简单测评
DVM涡轮分子泵非常适合应用于实验室对超高真空的需求。分子泵采用精密脂润滑陶瓷轴承,免维护时间远远大于采用油润滑轴承分子泵,相比油润滑轴承分子泵,其更适合洁净气体的抽吸。
主要应用场景:
1. 适合抽吸洁净气体、少量水蒸气、微量腐蚀性气体
2. 适合应用于物理、半导体领域的配套装置,如:PVD、PLD、MBE、CVD、同步辐射
3. 适合配套实验室深冷研究装置
4. 适合配套分析实验装置,如:电镜、质谱、生物质谱分析装置
5. 适合配套超高真空提取SAFE装置
主要特点:
1. DVM分子泵采用KF真空接口模块,极限真空可达5×10-7mbar (自适应中等转速,取决于系统密封性)
2. DVM分子泵采用CF真空接口模块,极限真空可达2×10-9mbar (极限真空取决于接口密封形式,非分子泵的性能指标;自适应到最高转速,取决于系统密封性)
3. 分子泵前级泵(要求小于5mbar)可选:干式隔膜真空泵、干式变频涡卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、旋片真空泵(油泵)等
型号 | DVM80 | DVM150 | DVM300 | DVM700 |
抽气速度 L/s | Ar: 62 N2 : 63 | Ar: 140 N2 : 145 | Ar: 255 N2 : 260 | Ar: 680 N2 : 685 |
极限真空 mbar | 5×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 |
进气连接 | DN63CF (KF) | DN100CF (KF) | DN100CF (KF) | DN160CF (KF) |
排气连接 | DN16KF | DN25KF | DN25KF | DN40KF |
轴承形式 | 精密脂润滑陶瓷轴承 |
**转速 rpm | 72000 | 51000 | 51000 | 36000 |
启动时间 min | < 2.0 | < 2.0 | < 3.5 | < 5.0 |
振动 um | < 0.05 | < 0.1 |
噪音 dB(A) | < 55 |
建议启动真空度 | < 2 mbar (最低要求 < 5 mbar) |
安装方式 | 任意角度安装 |
烘烤温度 ℃ | < 100 |
冷却方式 | 风冷/水冷 | 水冷 |
水冷接口 | 内径10mm软管连接 |
重量 kg | 3.5 | 8.6 | 11.0 | 24.5 |
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