螺杆真空泵与隔膜真空泵是否可以组合应用于苛刻工况？

关键词：螺杆真空泵，隔膜真空泵，化学隔膜泵，抗化学腐蚀隔膜真空泵，防爆隔膜真空泵

螺杆真空泵是一种干式真空泵，通常能够提供较大的抽速，抽速范围通常为50-1000m3/h，多用于工业场合。其中在应用于生化抽吸苛刻工况下，配有防爆电机的螺杆真空泵通常是首选，但是在强酸、强碱的工况下，即便是螺杆转子镀膜PTFE或PFA，在螺杆高速运转下，其镀膜脱落而导致螺杆转子腐蚀，通常使用时间不到2个月就要大修。为了解决这一工业难题，是否可以采用隔膜真空泵做为螺杆真空泵的后级抽吸泵，非常值得探讨。

众所周知，隔膜真空泵能够耐强酸、强碱的腐蚀。通过将螺杆真空泵连接于螺杆真空泵的出气口，组合成泵组。在螺杆真空泵内部气流低流速的时候，防爆隔膜真空泵抽吸螺杆真空泵的泵腔体，给螺杆真空泵的泵腔加以真空，这样能够明显提高螺杆真空泵的耐腐蚀性能，延长螺杆真空泵的使用寿命。

通过以上的方法，能够开发出螺杆真空泵与隔膜真空泵的组合泵组。从原理上来讲，其可行性是可以验证的，从而解决螺杆真空泵在苛刻工况下的使用问题。

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