分子泵的前级泵如何选择最合适？

关键词：分子泵，隔膜真空泵，干式抗化学腐蚀螺旋真空泵，螺杆真空泵，两级旋片真空泵，涡卷式真空泵

分子泵也是实验室常用的真空获得设备之一，由于分子泵不能常压下启动，因此需要配置前级泵来组合使用。分子泵组成为物理、半导体、物化、化学等实验室的常备设备，怎样配置一台合理的分子泵的前级泵呢？

分子泵的前级泵的选择，首先是要选择真空度小于10mbar以下的真空泵，再根据抽吸腔体的大小来选择。

通常腔体容积5L以下，选择隔膜真空泵或者干式螺旋泵，抽气量1-8m3/h，真空度选择越高越好；腔体容积5L-20L，选择两级旋片真空泵或者涡卷式真空泵为主，抽气量6-30m3/h，真空度选择越高越好；腔体容积>20L，选择螺杆真空泵或者两级旋片真空泵/涡卷式真空泵的多台组合泵组。

根据抽吸气体其否含有一定量的腐蚀性气体，可选择相对应的耐腐能力更强的型号。

总之，选择抽气量更大、真空度更高的前级泵，对腔体内的极限真空度获得是有帮助的，但是也要考虑经济性原则。

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