关键词：分子泵，隔膜真空泵，两级旋片真空泵，干式抗化学腐蚀螺旋真空泵
DVM涡轮分子泵系列
DVM涡轮分子泵非常适合应用于实验室对超高真空的需求。分子泵采用精密脂润滑陶瓷轴承，免维护时间远远大于采用油润滑轴承分子泵。
可选择配套分子泵前级泵组成分子泵组。用于极少量腐蚀性气体的应用中，可选择配套干式抗化学腐蚀螺旋真空泵作为分子泵前级泵，在香料超高真空SAFE提取、CVD、PVD等极少量腐蚀性气体的抽吸应用中非常有效；用于洁净气体的应用中，可选择配套干式非抗化学腐蚀螺旋真空泵或者高稳定性两级旋片真空泵作为分子泵前级泵。
型号 | DVM80 | DVM150 | DVM300 | DVM700 |
抽气速度 L/s | Ar: 62 N2 : 63 | Ar: 140 N2 : 145 | Ar: 255 N2 : 260 | Ar: 680 N2 : 685 |
极限真空 mbar | 5×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 |
进气连接 | DN63CF (KF) | DN100CF (KF) | DN100CF (KF) | DN160CF (KF) |
排气连接 | DN16KF | DN25KF | DN25KF | DN40KF |
轴承形式 | 精密脂润滑陶瓷轴承 |
**转速 rpm | 72000 | 51000 | 51000 | 36000 |
启动时间 min | < 2.0 | < 2.0 | < 3.5 | < 5.0 |
振动 um | < 0.05 | < 0.1 |
噪音 dB(A) | < 55 |
建议启动真空度 | < 1 mbar |
安装方式 | 任意角度安装 |
烘烤温度 ℃ | < 100 |
冷却方式 | 风冷/水冷 | 水冷 |
水冷接口 | 内径10mm软管连接 |
重量 kg | 3.5 | 8.6 | 11.0 | 24.5 |
分子泵前级泵的选择
通常根据腔体容积大小及需要达到的最终真空度来选型。腔体容积越大，需要的分子泵前级泵的抽速越大；腔体真空度要求越好，需要的分子泵前级泵的真空度越好。
使用 环境 | 真空泵 类型 | 型号 | 泵的极限真空度 (1mbar=100Pa) | 泵的 抽气量 | 腔体容积 |
少量 腐蚀性气体 | 干式抗腐蚀螺旋 真空泵 | DVT0150pro/DVT0150 | 0.1 mbar | 48 L/min | 1-80 L |
DVT01100pro/DVT01100 | 0.1 mbar | 96 L/min | 50-150 L |
DVT01200pro | 0.1 mbar | 192 L/min | 100-250 L |
DVT01300pro | 0.1 mbar | 288 L/min | 200-400 L |
洁净 气体 | 干式 非抗腐蚀 螺旋 真空泵 | DVW0150 | 0.1 mbar | 48 L/min | 1-80 L |
DVW01100 | 0.1 mbar | 96 L/min | 50-150 L |
DVW01200 | 0.1 mbar | 192 L/min | 100-250 L |
DVW01300 | 0.1 mbar | 288 L/min | 200-400 L |
综合 环境 | 旋片真空泵(油泵） | DVR4Z/DVR4Zeco | 0.002 mbar | 67 L/min | 1-80 L |
DVR8Z/DVR8Zeco | 0.002 mbar | 133 L/min | 50-200 L |
DVR16Z/DVR16Zeco | 0.002 mbar | 267 L/min | 200-400 L |
DVR24Z/DVR24Zeco | 0.002 mbar | 400 L/min | 300-700 L |
