分子泵的接口选择的小技巧

关键词：分子泵，涡轮分子泵，分子泵组

分子泵是大多数物理、半导体、材料、生化等实验室的常备设备，配合前级泵，如：隔膜真空泵、旋片真空泵等，主要目的是产出高真空应用于适合的场合。

市场上的分子泵基本都能达到E-8mbar真空度以上，但是其型号又分了很多种接口对应不通的真空度。究竟是分子泵的性能不够还是接口的密封性的影响呢？其实大多分子泵的性能是完全可以满足E-8mbar真空度，型号不同主要还是针对接口密封性。

CF接口的，铜密封分子泵，密封度的真空可以达到E-10mbar以上。CF接口，对于分子泵的性能是有要求的。

LF接口的，密封分子泵，密封度的真空通常在E-8mbar。其和分子泵的性能关系要求不高，主要是LF接口的密封度就在E-8mbar。

ISO-K/KF接口的，密封分子泵，密封度的真空通常在E-7mbar。其和分子泵的性能关系要求也不高，主要是接口的密封度就在E-7mbar。

因此，以上接口的条件，实际上就是选择性价比高的分子泵的一个很好的参考指标。因地制宜的选择适合实验室的分子泵组。