DVM涡轮分子泵系列
DVM涡轮分子泵非常适合应用于实验室对超高真空的需求。分子泵采用精密脂润滑陶瓷轴承，免维护时间远远大于采用油润滑轴承分子泵，相比油润滑轴承分子泵，其更适合洁净气体的抽吸。
主要应用场景：
1. 适合抽吸洁净气体、少量水蒸气、微量腐蚀性气体
2. 适合应用于物理、半导体领域的配套装置，如：PVD、PLD、MBE、CVD、同步辐射
3. 适合配套实验室深冷研究装置
4. 适合配套分析实验装置，如：电镜、质谱、生物质谱分析装置
5. 适合配套超高真空提取SAFE装置
主要特点：
1. DVM分子泵采用KF真空接口模块，极限真空可达5×10-7mbar （自适应中等转速，取决于系统密封性）
2. DVM分子泵采用CF真空接口模块，极限真空可达2×10-9mbar (极限真空取决于接口密封形式，非分子泵的性能指标；自适应到最高转速，取决于系统密封性）
3. 分子泵前级泵（要求小于5mbar）可选：干式隔膜真空泵、干式变频涡卷式真空泵、干式螺旋真空泵、干式螺杆真空泵、旋片真空泵（油泵）等
型号 | DVM80 | DVM150 | DVM300 | DVM600 | DVM700 | DVM1300 | DVM2000 |
抽气速度 L/s | Ar: 63 N2 : 64 | Ar: 141 N2 : 146 | Ar: 256 N2 : 261 | Ar: 625 N2 : 630 | Ar: 681 N2 : 686 | Ar: 1280 N2 : 1285 | Ar: 1950 N2 : 1955 |
极限真空 mbar | 5×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 2×10-9 | 8×10-10 | 8×10-10 |
进气连接 | DN63CF (KF、ISO) | DN100CF (KF、ISO) | DN100CF (KF、ISO) | DN150CF (KF、ISO) | DN160CF (KF、ISO) | DN160CF (KF、ISO) | DN250CF (KF、ISO) |
排气连接 | DN16KF | DN25KF | DN25KF | DN40KF | DN40KF | DN40KF | DN50KF |
轴承形式 | 精密脂润滑陶瓷轴承 |
**转速 rpm | 70000 | 50000 | 50000 | 24000 | 36000 | 24000 | 24000 |
启动时间 min | < 2.0 | < 2.0 | < 3.5 | < 5.0 |
振动 um | < 0.05 | < 0.1 |
噪音 dB(A) | < 55 | < 56 |
建议启动真空度 | < 2 mbar （最低要求 < 5 mbar） |
安装方式 | 任意角度安装 |
烘烤温度 ℃ | < 100 |
冷却方式 | 风冷或者水冷 | 水冷 |
重量 kg | 3.6 | 8.6 | 11.0 | 30.0 | 25.0 | 27.0 | 35.0 |
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